Картка документу
СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ ВИСОКОТЕМПЕРАТУРHОГО HАДПРОВІДHОГО ПОКРИТТЯ
Бібліографія
Патент України (на 20 р.)
(51)
МПК
C23C 18/00 (2006.01)
C23C 28/02 (2006.01)
H01L 39/12 (2006.01)
C23C 18/00 (2006.01)
C23C 28/02 (2006.01)
H01L 39/12 (2006.01)
(11)
19993
(22)
25.02.1993
(24)
25.12.1997
(21)
94020412
(46)
25.12.1997, бюл. № 6
(71)
НАУКОВО-ТЕХНІЧНИЙ КОМПЛЕКС "ІНСТИТУТ МОНОКРИСТАЛІВ" АН УКРАЇНИ 
НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС "ИНСТИТУТ МОНОКРИСТАЛЛОВ" АН УКРАИНЫ
"INSTITUTE FOR MONOCRYSTALS", SCIENTIFIC AND TECHNICAL COMPLEX OF THE AS OF UKRAINE
(72)
Семиноженко Володимир Петрович ; Іщук Валерій Максимович ; Боярчук Тетяна Павлівна ; Демірська Ольга Вікторівна ; Хайлова Олена Генадіївна ; Чергінець Віктор Леонідович
; Іщук Валерій Максимович ; Боярчук Тетяна Павлівна ; Демірська Ольга Вікторівна ; Хайлова Олена Генадіївна ; Чергінець Віктор Леонідович Семиноженко Владимир Петрович ; Ищук Валерий Максимович ; Боярчук Татьяна Павловна ; Демирская Ольга Викторовна ; Хайлова Елена Геннадиевна ; Чергинец Виктор Леонидович
; Ищук Валерий Максимович ; Боярчук Татьяна Павловна ; Демирская Ольга Викторовна ; Хайлова Елена Геннадиевна ; Чергинец Виктор Леонидович Semynozhenko Volodymyr Petrovych ; Ischuk Valerii Maksymovych ; Boiarchuk Tetiana Pavlivna ; Demirska Olha Viktorivna ; Hailova Olena Henadiivna ; Cherhinets Viktor Leonidovych
; Ischuk Valerii Maksymovych ; Boiarchuk Tetiana Pavlivna ; Demirska Olha Viktorivna ; Hailova Olena Henadiivna ; Cherhinets Viktor Leonidovych (73)
НАУКОВО-ТЕХНІЧНИЙ КОМПЛЕКС "ІНСТИТУТ МОНОКРИСТАЛІВ" АН УКРАЇНИ
НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС "ИНСТИТУТ МОНОКРИСТАЛЛОВ" АН УКРАИНЫ
"INSTITUTE FOR MONOCRYSTALS", SCIENTIFIC AND TECHNICAL COMPLEX OF THE AS OF UKRAINE