Картка документу
СПОСІБ ВИГОТОВЛЕHHЯ СТРУКТУР ПОЛЬОВИХ ТРАHЗИСТОРІВ З БАР'ЄРОМ ШОТКІ
Бібліографія
Перереєстроване авторське свiдоцтво СРСР
(51)
МПК
H01L 21/28 (2006.01)
H01L 21/70 (2006.01)
H01L 21/28 (2006.01)
H01L 21/70 (2006.01)
(11)
16878
(22)
16.01.1990
(24)
29.08.1997
(21)
4783644/SU
(46)
29.08.1997, бюл. № 4
(71)
НАУКОВО-ДОСЛІДНИЙ ІНСТИТУТ "САТУРН" 
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИУТТ "САТУРН"
SATURN SCIENTIFIC RESEARCH INSTITUTE
(72)
Данилов Миколай Григорович ; Іващук Анатолій Васильович ; Кохан Валентин Петрович
; Іващук Анатолій Васильович ; Кохан Валентин Петрович Данилов Николай Григорьевич ; Иващук Анатолий Васильевич ; Кохан Валентин Петрович
; Иващук Анатолий Васильевич ; Кохан Валентин Петрович Danylov Mykola Hryhorovych ; Ivaschuk Anatolii Vasyliovych ; Kokhan Valentyn Petrovych
; Ivaschuk Anatolii Vasyliovych ; Kokhan Valentyn Petrovych (73)
НАУКОВО-ДОСЛІДНИЙ ІНСТИТУТ "САТУРН"
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИУТТ "САТУРН"
SATURN SCIENTIFIC RESEARCH INSTITUTE