Картка документу
СПОСІБ ВИГОТОВЛЕHHЯ ПОЛЬОВИХ ТРАHЗИСТОРІВ З БАР'ЄРОМ ШОТТКІ
Бібліографія
Перереєстроване авторське свiдоцтво СРСР
(51)
МПК
H01L 21/30 (2006.01)
H01L 21/30 (2006.01)
(11)
16522
(22)
26.12.1988
(24)
29.08.1997
(21)
4624376/SU
(46)
29.08.1997, бюл. № 4
(71)
НАУКОВО-ДОСЛІДНИЙ ІНСТИТУТ "САТУРН" 
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИУТТ "САТУРН"
SATURN SCIENTIFIC RESEARCH INSTITUTE
(72)
Босий Віталій Ісайович ; Іващук Анатолій Васильович ; Кохан Валентин Петрович ; Петровський Олег Іванович ; Феоклістов Володимир Юр'євич
; Іващук Анатолій Васильович ; Кохан Валентин Петрович ; Петровський Олег Іванович ; Феоклістов Володимир Юр'євич Босый Виталий Исаевич ; Иващук Анатолий Васильевич ; Кохан Валентин Петрович ; Петровский Олег Иванович ; Феоклистов Владимир Юрьевич
; Иващук Анатолий Васильевич ; Кохан Валентин Петрович ; Петровский Олег Иванович ; Феоклистов Владимир Юрьевич Bosyi Vitalii Isaiovych ; Ivaschuk Anatolii Vasyliovych ; Kokhan Valentyn Petrovych ; Petrovskyi Oleh Ivanovych ; Feoklistov Volodymyr Yuriiovych
; Ivaschuk Anatolii Vasyliovych ; Kokhan Valentyn Petrovych ; Petrovskyi Oleh Ivanovych ; Feoklistov Volodymyr Yuriiovych (73)
НАУКОВО-ДОСЛІДНИЙ ІНСТИТУТ "САТУРН"
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИУТТ "САТУРН"
SATURN SCIENTIFIC RESEARCH INSTITUTE