Картка документу

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕННЯ НАНОМЕТРИЧНИХ ПОКРИТТІВ З ПЕРІОДИЧНОЮ СТРУКТУРОЮ

Патент на корисну модель

(51)

МПК
C23C 14/00 (2006.01)

(11)

38846

(22)

01.07.2008

(24)

26.01.2009

(21)

u200808701

(46)

26.01.2009, бюл. № 2

(71)

ІНСТИТУТ ТЕХНІЧНОЇ МЕХАНІКИ НАНУ І НКАУ

ИНСТИТУТ ТЕХНИЧЕСКОЙ МЕХАНИКИ НАНУ И НКАУ

INSTITUTE OF TECHNICAL MECHANICS OF NASU AND NSAU

(72)

Гришкевич Олександр Дмитрович

; Кучугурний Юрій Петрович

Гришкевич Александр Дмитриевич

; Кучугурный Юрий Петрович

Hryshkevych Oleksandr Dmytrovych

; Kuchuhurnyi Yurii Petrovych

(73)

ІНСТИТУТ ТЕХНІЧНОЇ МЕХАНІКИ НАНУ І НКАУ

ИНСТИТУТ ТЕХНИЧЕСКОЙ МЕХАНИКИ НАНУ И НКАУ

INSTITUTE OF TECHNICAL MECHANICS OF NASU AND NSAU

(98)

Інститут технічної механіки НАНУ і НКАУ
вул.Лешко-Попеля, 15, м.Дніпропетровськ-5, МСП, 49600, Україна