Картка документу
СПОСІБ ГЕТЕРУВАННЯ КИСНЕВМІСНИХ ДОМІШОК У КРЕМНІЇ
Бібліографія
Патент на корисну модель
(51)
МПК
H01L 21/02 (2006.01)
H01L 21/02 (2006.01)
(11)
48795
(22)
12.05.2008
(24)
12.04.2010
(21)
a200806093
(41)
25.11.2009, бюл. № 22
(46)
12.04.2010, бюл. № 7
(56)
UA 7373, 20.09.1995
UA 63399, 15.01.2004
UA 37744, 15.05.2001
US 4131487, 26.12.1979
US 4144099, 13.03.1979
(71)
КИЇВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ТАРАСА ШЕВЧЕНКА 
КИЕВСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ТАРАСА ШЕВЧЕНКА
TARAS SHEVCHENKO KYIV NATIONAL UNIVERSITY
(72)
Теселько Петро Олексійович ; Михалюк Ольга В'ячеславівна ; Новиков Микола Миколайович
; Михалюк Ольга В'ячеславівна ; Новиков Микола Миколайович Теселько Петр Алексеевич ; Михалюк Ольга Вячеславовна ; Новиков Николай Николаевич
; Михалюк Ольга Вячеславовна ; Новиков Николай Николаевич Teselko Petro Oleksiiovych ; Mykhailuk Olha Viacheslavivna ; Novykov Mykola Mykolaiovych
; Mykhailuk Olha Viacheslavivna ; Novykov Mykola Mykolaiovych (73)
КИЇВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ТАРАСА ШЕВЧЕНКА
КИЕВСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ТАРАСА ШЕВЧЕНКА
TARAS SHEVCHENKO KYIV NATIONAL UNIVERSITY
(98)
Київський національний університет імені Тараса Шевченка, НДЧ
вул.Володимирська, 64, м.Київ, 01033, Україна
вул.Володимирська, 64, м.Київ, 01033, Україна