Картка документу
ПРИСТРІЙ ДЛЯ ОТРИМАННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК
Бібліографія
Патент на корисну модель
(51)
МПК
H01L 21/203 (2006.01)
H01F 41/00 (2006.01)
H01L 21/203 (2006.01)
H01F 41/00 (2006.01)
(11)
80521
(22)
14.05.2012
(24)
10.06.2013
(21)
u201205854
(71)
ПРИКАРПАТСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ВАСИЛЯ СТЕФАНИКА 
ПРИКАРПАТСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ВАСИЛИЯ СТЕФАНИКА
VASYL STEFANYK PRYKARPATTIA NATIONAL UNIVERSITY
(72)
Фреїк Дмитро Михайлович ; Горічок Ігор Володимирович ; Яворський Ярослав Святославович
; Горічок Ігор Володимирович ; Яворський Ярослав Святославович Фреик Дмитрий Михайлович ; Горичок Игорь Владимирович ; Яворский Ярослав Святославович
; Горичок Игорь Владимирович ; Яворский Ярослав Святославович Freik Dmytro Mykhailovych ; Horichok Ihor Volodymyrovych ; Yavorskyi Yaroslav Sviatoslavovych
; Horichok Ihor Volodymyrovych ; Yavorskyi Yaroslav Sviatoslavovych (73)
ПРИКАРПАТСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ВАСИЛЯ СТЕФАНИКА
ПРИКАРПАТСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ВАСИЛИЯ СТЕФАНИКА
VASYL STEFANYK PRYKARPATTIA NATIONAL UNIVERSITY
(98)
ПРИКАРПАТСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ВАСИЛЯ СТЕФАНИКА
вул. Шевченка, 57, м. Івано-Франківськ, 76025
вул. Шевченка, 57, м. Івано-Франківськ, 76025