Картка документу
ПЛАЗМОВИЙ ПРИСТРІЙ НАНЕСЕННЯ БАГАТОШАРОВИХ ПЛІВКОВИХ ПОКРИТТІВ
Бібліографія
Патент на корисну модель
(51)
МПК
C23C 14/34 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
(11)
87747
(22)
17.12.2010
(24)
25.02.2014
(21)
a201015237
(41)
25.06.2012, бюл. № 12
(71)
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ ІМ. Г.В. КУРДЮМОВА НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ 
; ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "СЕМПОН-2" ; ОТКРИТОЄ АКЦІОНЄРНОЄ ОБЩЄСТВО "НІІ ТОЧНОГО МАШІНОСТРОЄНІЯ" 
; ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "СЕМПОН-2" ; ОТКРИТОЄ АКЦІОНЄРНОЄ ОБЩЄСТВО "НІІ ТОЧНОГО МАШІНОСТРОЄНІЯ" ИНСТИТУТ МЕТАЛЛОФИЗИКИ ИМ. Г.В. КУРДЮМОВА НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ ; ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СЕМПОН-2" ; ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НИИ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ"
; ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СЕМПОН-2" ; ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НИИ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ" H.KURDIUMOV INSTITUTE OF PHYSICS OF METALS OF NAS OF UKRAINE ; "SEMPON-2" LIMITED LIABILITY COMPANY ; "NII TOCHNOHO MASYNOSTROIENIIA" OPEN JOINT-STOCK COMPANY
; "SEMPON-2" LIMITED LIABILITY COMPANY ; "NII TOCHNOHO MASYNOSTROIENIIA" OPEN JOINT-STOCK COMPANY (72)
Веремійченко Георгій Микитович ; Короташ Ігор Васильович ; Руденко Едуард Михайлович ; Семенюк Валерій Федорович ; Одіноков Вадім Васільєвіч ; Павлов Гєоргій Яковлєвіч ; Сологуб Вадім Алєксандровіч
; Короташ Ігор Васильович ; Руденко Едуард Михайлович ; Семенюк Валерій Федорович ; Одіноков Вадім Васільєвіч ; Павлов Гєоргій Яковлєвіч ; Сологуб Вадім Алєксандровіч Веремийченко Георгий Никитич ; Короташ Игорь Васильевич ; Руденко Эдуард Михайлович ; Семенюк Валерий Федорович ; Одиноков Вадим Васильевич ; Павлов Георгий Яковлевич ; Сологуб Вадим Александрович
; Короташ Игорь Васильевич ; Руденко Эдуард Михайлович ; Семенюк Валерий Федорович ; Одиноков Вадим Васильевич ; Павлов Георгий Яковлевич ; Сологуб Вадим Александрович Veremiichenko Heorhii Mykytovych ; Korotash Ihor Vasyliovych ; Rudenko Eduard Mykhailovych ; Semeniuk Valerii Fedorovych ; Odinokov Vadim Vasilievich ; Pavlov Hieorhii Yakovlievich ; Solohub Vadim Alieksandrovich
; Korotash Ihor Vasyliovych ; Rudenko Eduard Mykhailovych ; Semeniuk Valerii Fedorovych ; Odinokov Vadim Vasilievich ; Pavlov Hieorhii Yakovlievich ; Solohub Vadim Alieksandrovich (73)
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ ІМ. Г.В. КУРДЮМОВА НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ ; ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "СЕМПОН-2" ; ОТКРИТОЄ АКЦІОНЄРНОЄ ОБЩЄСТВО "НІІ ТОЧНОГО МАШІНОСТРОЄНІЯ"
; ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "СЕМПОН-2" ; ОТКРИТОЄ АКЦІОНЄРНОЄ ОБЩЄСТВО "НІІ ТОЧНОГО МАШІНОСТРОЄНІЯ" ИНСТИТУТ МЕТАЛЛОФИЗИКИ ИМ. Г.В. КУРДЮМОВА НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ ; ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СЕМПОН-2" ; ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НИИ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ"
; ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СЕМПОН-2" ; ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НИИ ТОЧНОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ" H.KURDIUMOV INSTITUTE OF PHYSICS OF METALS OF NAS OF UKRAINE ; "SEMPON-2" LIMITED LIABILITY COMPANY ; "NII TOCHNOHO MASYNOSTROIENIIA" OPEN JOINT-STOCK COMPANY
; "SEMPON-2" LIMITED LIABILITY COMPANY ; "NII TOCHNOHO MASYNOSTROIENIIA" OPEN JOINT-STOCK COMPANY (98)
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ ІМ. Г.В. КУРДЮМОВА НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ
патентна група, пр. Вернадського, 36, м. Київ-142, МСП, 03680, Україна
патентна група, пр. Вернадського, 36, м. Київ-142, МСП, 03680, Україна