Картка документу

ПРИСТРІЙ ДЛЯ ВИЗНАЧЕННЯ ТОВЩИНИ ЕПІТАКСІАЛЬНИХ ШАРІВ В НАПІВПРОВІДНИКАХ

Патент на корисну модель

(51)

МПК
G01N 27/00 (2006.01)

(11)

91869

(22)

28.05.2013

(24)

25.07.2014

(21)

u201306637

(71)

ВІННИЦЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

ВИННИЦКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

VYNNYTSIA NATIONAL TECHNICAL UNIVERSITY

(72)

Осадчук Володимир Степанович

; Осадчук Олександр Володимирович

; Дуда Роман Валерійович

Осадчук Владимир Степанович

; Осадчук Александр Владимирович

; Дуда Роман Валериевич

Osadchyk Volodymyr Stepanovych

; Osadchyk Oleksandr Volodymyrovych

; Duda Roman Valeriiovych

(73)

ВІННИЦЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

ВИННИЦКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

VYNNYTSIA NATIONAL TECHNICAL UNIVERSITY

(98)

Патентний відділ, ВНТУ
Хмельницьке шосе, 95, м. Вінниця, 21021