Картка документу

ПРИСТРІЙ З АКСІАЛЬНИМИ ПЛАЗМОВИМИ РЕЗОНАТОРАМИ

Патент на корисну модель

(51)

МПК
H01L 21/00 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)

(11)

93531

(22)

25.03.2014

(24)

10.10.2014

(21)

u201403036

(71)

ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "ГРЕСЕМ ІНОВЕЙШН"

ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ГРЭС ИННОВЕЙШН"

LIMITED LIABILITY COMPANY " HEPP INNOVATION "

(72)

Семенюк Валерій Федорович

; Веремійченко Георгій Микитович

Семенюк Валерий Федорович

; Веремийченко Георгий Никитич

Semeniuk Valerii Fedorovych

; Veremiichenko Heorhii Mykytovych

(73)

ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "ГРЕСЕМ ІНОВЕЙШН"

ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ГРЭС ИННОВЕЙШН"

LIMITED LIABILITY COMPANY " HEPP INNOVATION "

(74)

Ортинська Марія Юріївна

(98)

Ортинська Марія Юріївна
а/с 168, м. Київ-54, 01054