Картка документу

СПОСІБ ОТРИМАННЯ ПРОЗОРОЇ ПЛІВКИ ZnO, ЛЕГОВАНОЇ АЛЮМІНІЄМ

Патент на корисну модель

(51)

МПК
H01L 21/00 (2006.01)
H01L 31/00 (2006.01)

(11)

118645

(22)

20.09.2016

(24)

28.08.2017

(21)

u201609697

(71)

БЕРДЯНСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ ПЕДАГОГІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

(72)

Хрипко Сергій Леонідович

; Кідалов Валерій Віталійович

; Дяденчук Альона Федорівна

Хрипко Сергей Леонидович

; Кидалов Валерий Витальевич

; Дяденчук Алена Федоровна

(73)

БЕРДЯНСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ ПЕДАГОГІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

(98)

Кідалов Валерій Віталійович
вул. Баха, 45, кв. 65, м. Бердянськ, Бердянський р-н, 71100