Картка документу

УСТАНОВКА ОДЕРЖАННЯ ЧОРНОГО КРЕМНІЮ В ПЛАЗМОВИХ ПОТОКАХ ГЕЛІКОННОГО РОЗРЯДУ

Патент на корисну модель

(51)

МПК
H01L 21/00 (2006.01)
H01L 31/00 (2006.01)

(11)

137104

(22)

04.01.2019

(24)

10.10.2019

(21)

u201900162

(71)

ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "ГРЕСЕМ ІНОВЕЙШН"

(72)

Семенюк Валерій Федорович

; Веремійченко Георгій Микитович

(73)

ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "ГРЕСЕМ ІНОВЕЙШН"

(74)

Ортинська Марія Юріївна

(98)

Семенюк Валерій Федорович
вул. Стадіонна, 19, кв. 36, м. Київ, 03049