Картка документу

СПОСІБ ОТРИМАННЯ ПЛІВКИ КУБІЧНОГО GAN НА ПІДКЛАДЦІ З ПОРУВАТОГО ШАРУ GAAS

Патент на корисну модель

(51)

МПК
H01L 21/00 (2006.01)

(11)

21939

(22)

27.10.2006

(24)

10.04.2007

(21)

u200611309

(46)

10.04.2007, бюл. № 4

(71)

БЕРДЯНСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ ПЕДАГОГІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

(72)

Кідалов Валерій Віталійович

; Сукач Георгій Олексійович

Кидалов Валерий Витальевич

; Сукач Георгий Алексеевич

Kidalov Valerii Vitaliiovych

; Sukach Heorhii Oleksiiovych

(73)

БЕРДЯНСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ ПЕДАГОГІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

(98)

Ректору Бердянського державного педагогічного університета Крижку Василю Васильовичу
вул.Шмідта, 4, м.Бердянськ, Запорізька обл., 71100, Україна