Картка документу

СПОСІБ ОТРИМАННЯ ТОВСТИХ ГОМОЕПІТАКСІЙНИХ ШАРІВ АРСЕНІДУ ГАЛІЮ

Патент на корисну модель

(51)

МПК
H01L 21/20 (2006.01)

(11)

28402

(22)

16.07.2007

(24)

10.12.2007

(21)

u200707996

(46)

10.12.2007, бюл. № 20

(71)

ХЕРСОНСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

ХЕРСОНСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

KHERSON NATIONAL TECHNICAL UNIVERSITY

(72)

Шутов Станіслав Вікторович

; Лебедь Олег Миколайович

; Краснов Василь Олександрович

Шутов Станислав Викторович

; Лебедь Олег Николаевич

; Краснов Василий Александрович

Shutov Stanislav Viktorovych

; Lebed Oleh Mykolaiovych

; Krasnov Vasyl Oleksandrovych

(73)

ХЕРСОНСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

ХЕРСОНСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

KHERSON NATIONAL TECHNICAL UNIVERSITY

(98)

Херсонський національний технічний університет, патентний відділ
шосе Бериславське, 24, м.Херсон-8, 73008