Картка документу
ЗАХИСНЕ ПОКРИТТЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ
Бібліографія
Опубліковано 11.08.2008, бюл. № 15
(21)
a200701325
(22)
08.02.2007
(51)
H01L 23/522 (2006.01)
(71)
УЖГОРОДСЬКИЙ НАУКОВО-ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР МАТЕРІАЛІВ ОПТИЧНИХ НОСІЇВ ІНФОРМАЦІЇ ІНСТИТУТ ПРОБЛЕМ РЕЄСТРАЦІЇ ІНФОРМАЦІЇ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ 
УЖГОРОДСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР МАТЕРИАЛОВ ОПТИЧЕСКИХ НОСИТЕЛЕЙ ИНФОРМАЦИИ, ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ РЕГИСТРАЦИИ ИНФОРМАЦИИ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ
UZHGOROD RESEARCH TECHNOLOGICAL CENTRE OF MATERIALS OF OPTICAL DATA CARRIERS, INSTITUTE OF PROBLEMS OF INFORMATION RECORDING OF NATIONAL ACADEMY OF SCIENCES OF UKRAINE
(72)
Рубіш Василь Михайлович
Рубиш Василий Михайлович
Rubish Vasyl Mykhailovych
(54)
ЗАХИСНЕ ПОКРИТТЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ