Картка документу
КРЕМНІЙВМІСНА ОСНОВА З БАР'ЄРНИМ ШАРОМ, ЩО МІСТИТЬ ГАФНІЙ
Бібліографія
Опубліковано 10.04.2007, бюл. № 4
(21)
a200607863
(22)
13.07.2006
(51)
C04B 14/10 (2006.01)
C23C 28/02 (2006.01)
C23C 28/02 (2006.01)
(31)
11/230,196
(32)
19.09.2005
(33)
US
(71)
ЮНАЙТЕД ТЕКНОЛОДЖІЗ КОРПОРЕЙШН 
ЮНАЙТЕД ТЕКНОЛОДЖИЗ КОРПОРЕЙШН
UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION
(72)
БХАТІА Таня ; Смеггіл Джон Г ; Тредуей Уільям ; Шмідт Уейді Р ; Нердон Вінсент К
; Смеггіл Джон Г ; Тредуей Уільям ; Шмідт Уейді Р ; Нердон Вінсент К Bhatia Tania ; Smeggil John G. ; Tredway William K. ; Scmidt Wayde R. ; Nardone Vincent C.
; Smeggil John G. ; Tredway William K. ; Scmidt Wayde R. ; Nardone Vincent C. (54)
КРЕМНІЙВМІСНА ОСНОВА З БАР'ЄРНИМ ШАРОМ, ЩО МІСТИТЬ ГАФНІЙ