Картка документу

ОБЛАДНАННЯ ДЛЯ ВИРОЩУВАННЯ НАНОГЕТЕРОСТРУКТУР З РІДКОЇ ФАЗИ

Опубліковано 10.09.2008, бюл. № 17

(21)

a200702097

(22)

27.02.2007

(51)

H01L 21/208 (2006.01)

(71)

СЕВАСТОПОЛЬСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ЯДЕРНОЇ ЕНЕРГІЇ ТА ПРОМИСЛОВОСТІ

СЕВАСТОПОЛЬСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ЯДЕРНОЙ ЭНЕРГИИ И ПРОМЫШЛЕННОСТИ

SEVASTOPOL NATIONAL UNIVERSITY OF NUCLEAR ENERGY AND INDUSTRY

(72)

Марончук Ігор Євгенович

; Кулюткіна Тамара Фатихівна

; Марончук Олександр Ігорович

Марончук Игорь Евгеньевич

; Кулюткина Тамара Фатыховна

Maronchuk Ihor Yevhenovych

; Kuliutkina Tamara Fatykhivna

(54)

ОБЛАДНАННЯ ДЛЯ ВИРОЩУВАННЯ НАНОГЕТЕРОСТРУКТУР З РІДКОЇ ФАЗИ