Картка документу

СПОСІБ ОТРИМАННЯ НАДТОНКОГО ШАРУ ОКСИДУ ДЛЯ ТРАНЗИСТОРІВ З ЕФЕКТОМ ПАМ`ЯТІ

Опубліковано 10.07.2008, бюл. № 13

(21)

a200613886

(22)

26.12.2006

(51)

H01L 21/70 (2006.01)
H01L 21/265 (2006.01)

(71)

ЗАКРИТЕ АКЦІОНЕРНЕ ТОВАРИСТВО НАУКОВО-ВИРОБНИЧИЙ КОНЦЕРН "НАУКА"

ЗАКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ КОНЦЕРН "НАУКА"

CLOSE CORPORATION SCIENTIFIC-PRODUCTION CONCERN “NAUKA”

(72)

Ларкін Сергій Юрійович

; Воронько Андрій Олександрович

Ларкин Сергей Юрьевич

; Воронько Андрей Александрович

Larkin Serhii Yuriiovych

; Voronko Andrii Oleksandrovych

(54)

СПОСІБ ОТРИМАННЯ НАДТОНКОГО ШАРУ ОКСИДУ ДЛЯ ТРАНЗИСТОРІВ З ЕФЕКТОМ ПАМ`ЯТІ