Картка документу

СПОСІБ ВИМІРЮВАННЯ РЕКОМБІНАЦІЙНИХ ПАРАМЕТРІВ У НАПІВПРОВІДНИКАХ

Бібліографія

Опубліковано 10.06.2009, бюл. № 11
 
(21)
a200713224
(22)
28.11.2007
(51)
G01N 27/20 (2006.01)
H01L 21/66 (2006.01)
(71)
МАЛЮТЕНКО ВОЛОДИМИР КОСТЯНТИНОВИЧ UA
 
МАЛЮТЕНКО ВЛАДИМИР КОНСТАНТИНОВИЧ UA
 
MALIUTENKO VOLODYMYR KOSTIANTYNOVYCH UA
(72)
Малютенко Володимир Костянтинович UA; Зіновчук Андрій Васильович UA
 
Малютенко Владимир Константинович UA
 
Maliutenko Volodymyr Kostiantynovych UA
(54)
СПОСІБ ВИМІРЮВАННЯ РЕКОМБІНАЦІЙНИХ ПАРАМЕТРІВ У НАПІВПРОВІДНИКАХ