Картка документу
ОМІЧНА КОНТАКТНА СИСТЕМА ДЛЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПРИЛАДІВ З КАРБІДУ КРЕМНІЮ
Бібліографія
Опубліковано 25.11.2010, бюл. № 22
(21)
a200904954
(22)
19.05.2009
(51)
H01L 21/02 (2006.01)
(71)
ДЕРЖАВНЕ ПІДПРИЄМСТВО НАУКОВО-ДОСЛІДНИЙ ІНСТИТУТ "ОРІОН" 
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ "ОРИОН"
STATE ENTERPRISE RESEARCH INSTITUTE "ORION"
(72)
Басанець Володимир Васильович ; Болтовець Микола Силович ; Веремійченко Георгій Микитович ; Іванов Володимир Миколайович ; Кривуца Валентин Антонович ; Конакова Раїса Василівна
; Болтовець Микола Силович ; Веремійченко Георгій Микитович ; Іванов Володимир Миколайович ; Кривуца Валентин Антонович ; Конакова Раїса Василівна Басанец Владимир Васильевич ; Болтовец Николай Силович ; Веремийченко Георгий Никитич ; Иванов Владимир Николаевич ; Кривуца Валентин Антонович ; Конакова Раиса Васильевна
; Болтовец Николай Силович ; Веремийченко Георгий Никитич ; Иванов Владимир Николаевич ; Кривуца Валентин Антонович ; Конакова Раиса Васильевна Basanets Volodymyr Vasyliovych ; Boltovets Mykola Sylovych ; Veremiichenko Heorhii Mykytovych ; Ivanov Volodymyr Mykolaiovych ; Kryvutsa Valentyn Antonovych ; Konakova Raisa Vasylivna
; Boltovets Mykola Sylovych ; Veremiichenko Heorhii Mykytovych ; Ivanov Volodymyr Mykolaiovych ; Kryvutsa Valentyn Antonovych ; Konakova Raisa Vasylivna (54)
ОМІЧНА КОНТАКТНА СИСТЕМА ДЛЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПРИЛАДІВ З КАРБІДУ КРЕМНІЮ