Картка документу
СПОСІБ ОТРИМАННЯ ДІЕЛЕКТРИЧНОГО МАТЕРІАЛУ
Бібліографія
Опубліковано 10.08.2011, бюл. № 15
(21)
a201012555
(22)
25.10.2010
(51)
C04B 35/495 (2006.01)
H01L 41/187 (2006.01)
H01L 41/35 (2013.01)
H01L 41/187 (2006.01)
H01L 41/35 (2013.01)
(71)
ДЕРЖАВНА УСТАНОВА "НАУКОВО-ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР "РЕАКТИВЕЛЕКТРОН" НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ 
(72)
Погібко Володимир Михайлович ; Гусакова Людмила Георгієвна ; Сідак Ірина Леонідівна ; Дорофеєва Валентина Василівна
; Гусакова Людмила Георгієвна ; Сідак Ірина Леонідівна ; Дорофеєва Валентина Василівна Погибко Владимир Михайлович ; Гусакова Людмила Георгиевна ; Сидак Ирина Леонидовна ; Дорофеева Валентина Васильевна
; Гусакова Людмила Георгиевна ; Сидак Ирина Леонидовна ; Дорофеева Валентина Васильевна Pohibko Volodymyr Mykhailovych ; Husakova Liudmyla Heorhiivna ; Sidak Iryna Leonidivna ; Dorofeieva Valentyna Vasylivna
; Husakova Liudmyla Heorhiivna ; Sidak Iryna Leonidivna ; Dorofeieva Valentyna Vasylivna (54)
СПОСІБ ОТРИМАННЯ ДІЕЛЕКТРИЧНОГО МАТЕРІАЛУ