Картка документу

СПОСІБ ОДЕРЖАННЯ НАНОЧАСТИНОК СИСТЕМИ МЕТАЛ-КИСЕНЬ ІЗ ЗАДАНИМ СКЛАДОМ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВИМ ВИПАРОВУВАННЯМ І КОНДЕНСАЦІЄЮ У ВАКУУМІ

Опубліковано 25.10.2012, бюл. № 20

(21)

a201104570

(22)

14.04.2011

(51)

C23C 14/06 (2006.01)
C23C 14/24 (2006.01)
C23C 14/32 (2006.01)

(71)

ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "НАНОМЕДТРАСТ"

; ТОВАРИСТВО З ОБМЕЖЕНОЮ ВІДПОВІДАЛЬНІСТЮ "НАНОМЕДТРАСТ"

(72)

Пилипенко Олександр Якимович

; Кошик Леонід Іванович

Пилипенко Александр Якимович

; Кошик Леонид Иванович

Pylypenko Oleksandr Yakymovych

; Koshyk Leonid Ivanovych

(54)

СПОСІБ ОДЕРЖАННЯ НАНОЧАСТИНОК СИСТЕМИ МЕТАЛ-КИСЕНЬ ІЗ ЗАДАНИМ СКЛАДОМ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВИМ ВИПАРОВУВАННЯМ І КОНДЕНСАЦІЄЮ У ВАКУУМІ