Картка документу

СПОСІБ ОТРИМАННЯ КОНТАКТІВ НА КРЕМНІЄВІЙ ПІДКЛАДЦІ І ПРИСТРІЙ ДЛЯ ЙОГО РЕАЛІЗАЦІЇ

Опубліковано 26.10.2015, бюл. № 20

(21)

a201403947

(22)

14.04.2014

(51)

H01L 21/28 (2006.01)
H01L 21/02 (2006.01)
C23C 14/54 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)

(71)

ЛЬВІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ІВАНА ФРАНКА

ЛЬВОВСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ИВАНА ФРАНКО

IVAN FRANKO LVIV NATIONAL UNIVERSITY

(72)

Павлик Богдан Васильович

; Дідик Роман Іванович

; Шикоряк Йосип Андрійович

; Лис Роман Мирославович

; Грипа Андрій Сергійович

; Слободзян Дмитро Петрович

; Кушлик Маркіян Олегович

Павлик Богдан Васильевич

; Дидык Роман Иванович

; Шикоряк Иосиф Андреевич

; Лыс Роман Мирославович

; Грыпа Андрей Сергеевич

; Слободзян Дмитрий Петрович

Pavlyk Bohdan Vasyliovych

; Didyk Roman Ivanovych

; Shykoriak Yosyp Andriiovych

; Lys Roman Myroslavovych

; Hrypa Andrii Serhiiovych

; Slobodzian Dmytro Petrovych

(54)

СПОСІБ ОТРИМАННЯ КОНТАКТІВ НА КРЕМНІЄВІЙ ПІДКЛАДЦІ І ПРИСТРІЙ ДЛЯ ЙОГО РЕАЛІЗАЦІЇ