Картка документу
СПОСІБ ОТРИМАННЯ КОНТАКТІВ НА КРЕМНІЄВІЙ ПІДКЛАДЦІ І ПРИСТРІЙ ДЛЯ ЙОГО РЕАЛІЗАЦІЇ
Бібліографія
Опубліковано 26.10.2015, бюл. № 20
 
(21)
a201403947
(22)
14.04.2014
(51)
H01L 21/28 (2006.01)
H01L 21/02 (2006.01)
C23C 14/54 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)
H01L 21/02 (2006.01)
C23C 14/54 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)
(71)
ЛЬВІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ІВАНА ФРАНКА 

ЛЬВОВСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ИВАНА ФРАНКО 

IVAN FRANKO LVIV NATIONAL UNIVERSITY 

(72)
Павлик Богдан Васильович
; Дідик Роман Іванович
; Шикоряк Йосип Андрійович
; Лис Роман Мирославович
; Грипа Андрій Сергійович
; Слободзян Дмитро Петрович
; Кушлик Маркіян Олегович 
; Дідик Роман Іванович
; Шикоряк Йосип Андрійович
; Лис Роман Мирославович
; Грипа Андрій Сергійович
; Слободзян Дмитро Петрович
; Кушлик Маркіян Олегович 
Павлик Богдан Васильевич
; Дидык Роман Иванович
; Шикоряк Иосиф Андреевич
; Лыс Роман Мирославович
; Грыпа Андрей Сергеевич
; Слободзян Дмитрий Петрович 
; Дидык Роман Иванович
; Шикоряк Иосиф Андреевич
; Лыс Роман Мирославович
; Грыпа Андрей Сергеевич
; Слободзян Дмитрий Петрович 
Pavlyk Bohdan Vasyliovych
; Didyk Roman Ivanovych
; Shykoriak Yosyp Andriiovych
; Lys Roman Myroslavovych
; Hrypa Andrii Serhiiovych
; Slobodzian Dmytro Petrovych 
; Didyk Roman Ivanovych
; Shykoriak Yosyp Andriiovych
; Lys Roman Myroslavovych
; Hrypa Andrii Serhiiovych
; Slobodzian Dmytro Petrovych 
(54)
СПОСІБ ОТРИМАННЯ КОНТАКТІВ НА КРЕМНІЄВІЙ ПІДКЛАДЦІ І ПРИСТРІЙ ДЛЯ ЙОГО РЕАЛІЗАЦІЇ