Картка документу
СПОСІБ ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ ПОЛІКРЕМНІЮ
Бібліографія
Опубліковано 25.11.2015, бюл. № 22
(21)
a201405259
(22)
19.05.2014
(51)
H01L 21/3065 (2006.01)
C30B 33/08 (2006.01)
C30B 33/12 (2006.01)
C01B 33/02 (2006.01)
C30B 33/08 (2006.01)
C30B 33/12 (2006.01)
C01B 33/02 (2006.01)
(71)
ДЕРЖАВНИЙ ВИЩИЙ НАВЧАЛЬНИЙ ЗАКЛАД "ПРИКАРПАТСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ВАСИЛЯ СТЕФАНИКА" 
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ВЫСШЕЕ УЧЕБНОЕ ЗАВЕДЕНИЕ "ПРИКАРПАТСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ВАСИЛИЯ СТЕФАНИКА"
STATE INSTITUTION OF HIGHER EDUCATION “PRYKARPATTIA VASYL SPEPHANYK NATIONAL UNIVERSITY”
(72)
Новосядлий Степан Петрович ; Мельник Любомир Васильович ; Кіндрат Тарас Петрович ; Варварук Василь Миколайович
; Мельник Любомир Васильович ; Кіндрат Тарас Петрович ; Варварук Василь Миколайович Новосядлый Степан Петрович ; Киндрат Тарас Петрович
; Киндрат Тарас Петрович Novosiadlyi Stepan Petrovych ; Kindrat Taras Petrovych
; Kindrat Taras Petrovych (54)
СПОСІБ ПЛАЗМОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ ПОЛІКРЕМНІЮ