Картка документу
СПОСІБ ОТРИМАННЯ КРЕМНІЄВОГО МДН-ТРАНЗИСТОРА
Бібліографія
Опубліковано 25.11.2015, бюл. № 22
(21)
a201504762
(22)
18.05.2015
(51)
H01L 21/00 (2006.01)
H01L 21/26 (2006.01)
H01L 21/84 (2006.01)
H01J 37/30 (2006.01)
H01L 29/76 (2006.01)
H01L 21/02 (2006.01)
H01L 21/26 (2006.01)
H01L 21/84 (2006.01)
H01J 37/30 (2006.01)
H01L 29/76 (2006.01)
H01L 21/02 (2006.01)
(71)
ЛЬВІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ІВАНА ФРАНКА 
(72)
Коман Богдан Петрович ; Морозов Леонід Михайлович ; Монастирський Любомир Степанович
; Морозов Леонід Михайлович ; Монастирський Любомир Степанович (54)
СПОСІБ ОТРИМАННЯ КРЕМНІЄВОГО МДН-ТРАНЗИСТОРА