Картка документу
СПОСІБ НАНЕСЕННЯ ПОКРИТТІВ ЛАЗЕРНИМ ВИПАРОВУВАННЯМ ІЗ НАСТУПНИМ ПЛАЗМОВИМ ОСАДЖЕННЯМ
Бібліографія
Опубліковано 12.06.2017, бюл. № 11
(21)
a201511825
(22)
30.11.2015
(51)
C23C 4/04 (2006.01)
C23C 4/12 (2016.01)
C23C 14/22 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
H01J 37/317 (2006.01)
B23K 26/00 (2014.01)
C23C 4/12 (2016.01)
C23C 14/22 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
H01J 37/317 (2006.01)
B23K 26/00 (2014.01)
(71)
ІНСТИТУТ ЕЛЕКТРОЗВАРЮВАННЯ ІМ. Є.О. ПАТОНА НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ 
(72)
Крівцун Ігор Віталійович ; Хаскін Владислав Юрійович
; Хаскін Владислав Юрійович (54)
СПОСІБ НАНЕСЕННЯ ПОКРИТТІВ ЛАЗЕРНИМ ВИПАРОВУВАННЯМ ІЗ НАСТУПНИМ ПЛАЗМОВИМ ОСАДЖЕННЯМ