Картка документу

СПОСІБ КОНТРОЛЮ ТОНКОПЛІВКОВОГО ПРОЗОРОГО НАГРІВАЛЬНОГО ЕЛЕМЕНТА НА ОСНОВІ ОКСИДУ ОЛОВА ТА ІНДІЮ

Опубліковано 26.06.2017, бюл. № 12

(21)

a201512542

(22)

18.12.2015

(51)

G01N 21/21 (2006.01)
G01B 11/06 (2006.01)
C23C 14/35 (2006.01)
C23C 14/08 (2006.01)

(71)

ДУНАЄВСЬКИЙ ВАДИМ ІВАНОВИЧ

; КАЧУР НАТАЛІЯ ВОЛОДИМИРІВНА

; МАСЛОВ ВОЛОДИМИР ПЕТРОВИЧ

; НАЗАРЧУК СВІТЛАНА СТЕПАНІВНА

; ТУРУ ТЕТЯНА АНАТОЛІЇВНА

(72)

Дунаєвський Вадим Іванович

; Качур Наталія Володимирівна

; Маслов Володимир Петрович

; Назарчук Світлана Степанівна

; Туру Тетяна Анатоліївна

(54)

СПОСІБ КОНТРОЛЮ ТОНКОПЛІВКОВОГО ПРОЗОРОГО НАГРІВАЛЬНОГО ЕЛЕМЕНТА НА ОСНОВІ ОКСИДУ ОЛОВА ТА ІНДІЮ