Картка документу
СПОСІБ ГЕНЕРАЦІЇ ВИСОКОРЕГУЛЯРНИХ ЛАЗЕРНИХ ПЕРІОДИЧНИХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ УЛЬТРАКОРОТКИМИ ЛАЗЕРНИМИ ІМПУЛЬСАМИ
Бібліографія
Опубліковано 25.04.2017, бюл. № 8
(21)
a201605632
(22)
25.05.2016
(51)
B23K 26/00 (2014.01)
B82Y 40/00 (2011.01)
B23K 103/00 (2006.01)
B82Y 40/00 (2011.01)
B23K 103/00 (2006.01)
(71)
ГНІЛІЦЬКИЙ ЯРОСЛАВ МИКОЛАЙОВИЧ 
; ГРУЗДЄВ ВІТАЛІЙ ЄВГЕНІЙОВИЧ
; ГРУЗДЄВ ВІТАЛІЙ ЄВГЕНІЙОВИЧ (72)
Гніліцький Ярослав Миколайович ; Груздєв Віталій Євгенійович
; Груздєв Віталій Євгенійович (54)
СПОСІБ ГЕНЕРАЦІЇ ВИСОКОРЕГУЛЯРНИХ ЛАЗЕРНИХ ПЕРІОДИЧНИХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ УЛЬТРАКОРОТКИМИ ЛАЗЕРНИМИ ІМПУЛЬСАМИ