Картка документу
ВИПАРОВУВАЛЬНА КАМЕРА ДЛЯ ТЕРМІЧНОГО НАПИЛЕННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК У ВАКУУМІ
Бібліографія
Опубліковано 25.03.2020, бюл. № 6
(21)
a201908967
(22)
26.07.2019
(51)
H01L 21/205 (2006.01)
C23C 14/26 (2006.01)
C23C 14/26 (2006.01)
(71)
ЛЬВІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ВЕТЕРИНАРНОЇ МЕДИЦИНИ ТА БІОТЕХНОЛОГІЙ ІМЕНІ С.З. ҐЖИЦЬКОГО 
(72)
Ціж Богдан Романович ; Гайдучок Володимир Григорович
; Гайдучок Володимир Григорович (54)
ВИПАРОВУВАЛЬНА КАМЕРА ДЛЯ ТЕРМІЧНОГО НАПИЛЕННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК У ВАКУУМІ