Card paper

ЗАСІБ КОНТРОЛЮ ОДНОРІДНОСТІ НАПІВПРОВІДНИКОВОЇ ПЛАСТИНИ

Перереєстроване авторське свiдоцтво СРСР

(51)

IPC
H01L 21/66 (2006.01)

(11)

29571

(22)

27.04.1988

(24)

15.11.2000

(21)

4417658/SU

(10) A1 1537081

(46)

15.11.2000, бюл. № 6

(71)

ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ

ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ

; ИНСТИТУТТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ

INSTITUTE OF SEMICONDUCTOR PHYSICS OF THE NATIONAL ACADEMY OF SCIENCES OF UKRAINE

(72)

Малютенко Володимир Костянтинович

; Болгов Сергій Семенович

; Савченко Ганна Павлівна

Малютенко Владимир Константинович

; Болгов Сергей Семенович

Maliutenko Volodymyr Kostiantynovych

; Bolhov Serhii Semenovych

(73)

ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ

ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ

; ИНСТИТУТТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ

INSTITUTE OF SEMICONDUCTOR PHYSICS OF THE NATIONAL ACADEMY OF SCIENCES OF UKRAINE

(98)

Інститут фізики напівпровідників НАН України
пр. Науки, 45, Київ-28, 03028