Card paper
СПОСІБ ПРИГОТУВАННЯ НЕГАТИВНОГО СЕЛЕКТИВНОГО ТРАВНИКА ДЛЯ РЕЗИСТНИХ ШАРІВ ХАЛЬКОГЕНІДНОГО СКЛА Аs2S3
ibliography
Патент України (на 20 р.)
(51)
IPC
C03C 15/00 (2006.01)
C03C 23/00 (2006.01)
G03C 1/76 (2006.01)
C03C 15/00 (2006.01)
C03C 23/00 (2006.01)
G03C 1/76 (2006.01)
(11)
34995
(22)
27.07.1999
(24)
15.09.2003
(21)
99074336
(46)
15.09.2003, бюл. № 9
(56)
SU 1039908, 07.09.1983
US 4454221, 12.06.1984
EP 0854119, 22.07.1998
(71)
ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ 
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ ; ИНСТИТУТТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ
; ИНСТИТУТТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ INSTITUTE OF SEMICONDUCTOR PHYSICS OF THE NATIONAL ACADEMY OF SCIENCES OF UKRAINE
(72)
Венгер Євген Федорович ; Костюкевич Сергій Олександрович ; Шепелявий Петро Євгенович ; Гольцов Юрій Генадійович ; Бородін Юрій Олександрович ; Крючин Андрій Андрійович ; Петров Вячеслав Васильович
; Костюкевич Сергій Олександрович ; Шепелявий Петро Євгенович ; Гольцов Юрій Генадійович ; Бородін Юрій Олександрович ; Крючин Андрій Андрійович ; Петров Вячеслав Васильович Венгер Евгений Федорович ; Костюкевич Сергей Александрович ; Шепелявый Петр Евгеньевич ; Крючин Андрей Андреевич ; Петров Вячеслав Васильевич
; Костюкевич Сергей Александрович ; Шепелявый Петр Евгеньевич ; Крючин Андрей Андреевич ; Петров Вячеслав Васильевич Venher Yevhen Fedorovych ; Kostiukevych Serhii Oleksandrovych ; Shepeliavyi Petro Yevhenovych ; Kriuchyn Andrii Andriiovych ; Petrov Viacheslav Vasyliovych
; Kostiukevych Serhii Oleksandrovych ; Shepeliavyi Petro Yevhenovych ; Kriuchyn Andrii Andriiovych ; Petrov Viacheslav Vasyliovych (73)
ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ ; ИНСТИТУТТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ
; ИНСТИТУТТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ АКАДЕМИИ НАУК УКРАИНЫ INSTITUTE OF SEMICONDUCTOR PHYSICS OF THE NATIONAL ACADEMY OF SCIENCES OF UKRAINE
(98)
Кригіна Ніна Яківна, патентний відділ, Інститут фізики напівпровідників НАН України
пр.Науки, 45, м.Київ, 03028
пр.Науки, 45, м.Київ, 03028