Card paper

СПОСІБ ОТРИМАННЯ ПЛІВОК ZnO:N МЕТОДОМ РАДИКАЛО-ПРОМЕНЕВОЇ ГЕТЕРУЮЧОЇ ЕПІТАКСІЇ

Патент на корисну модель

(51)

IPC
C23C 14/08 (2006.01)
C01G 9/02 (2006.01)
G02B 1/10 (2015.01)

(11)

132172

(22)

28.09.2018

(24)

11.02.2019

(21)

u201809727

(71)

БЕРДЯНСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ ПЕДАГОГІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

(72)

Рогозін Ігор Вікторович

; Кідалов Валерій Віталійович

; Дяденчук Альона Федорівна

(73)

БЕРДЯНСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ ПЕДАГОГІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

(98)

Кідалов Валерій Віталійович
вул. Баха, 45, кв. 65, м. Бердянськ, Бердянський р-н, 71100