Card paper

ПРИСТРІЙ ДЛЯ ФОРМУВАННЯ БАГАТОШАРОВИХ КВАНТОВИХ НАНОСТРУКТУР

Published 19.05.2021, бюл. № 20

(21)

a201911278

(22)

19.11.2019

(51)

H01L 21/30 (2006.01)

(71)

ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ ІМ. В.Є. ЛАШКАРЬОВА НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ

(72)

Косінов Олександр Генріхович

; Капуш Ольга Анатоліївна

; Будзуляк Сергій Іванович

; Корбутяк Дмитро Васильович

; Демчина Любомир Андрійович

; Єрмаков Валерій Миколайович

; Кульчицький Богдан Несторович

; Дремлюженко Ксенія Сергіївна

; Гатілов Сергій Євгенович

; Борук Сергій Дмитрович

; Мазарчук Ірина Опанасівна

; Морозовська Валентина Йосипівна

(54)

ПРИСТРІЙ ДЛЯ ФОРМУВАННЯ БАГАТОШАРОВИХ КВАНТОВИХ НАНОСТРУКТУР